物質的硬度定義為一種物質相對于另一物質的抗摩擦性或抗刻劃性的能力。例如氮化欽薄膜蒸鍍在齒輪或刀具的表面，可以延長它們的壽命，硬度極高、耐腐蝕性極好、透光性能優(yōu)良的類金剛石膜可用于光學器件、太陽能電池的表面保護。
    硬度試驗方法多種多樣，現(xiàn)在最常用的是維氏(Vickers)硬度，其次是庫氏(Knoop)硬度和布氏〔Brinell)硬度。